直属于国人之痛,成为地方“百人计划”的热门项目。不在乎商业利润,只追求政治回报,几乎每年都有新成果诞生。
除了极紫外光刻机的关键元器件,其他光刻机的元器件,基本都已经实现了国产化。
这导致什么结果呢?
普通光刻机迅速跌成白菜价,而极紫外光刻机直接对中国禁售,理由是具有军事用途。
到目前为止,中国大陆也就中芯国际有一台极紫外光刻机。2019年交付定金,排了足足三年的队,直至2022年才成功到货,期间差点因为美国的干预而交易作废,机器运到半路上就被正式列入禁运清单。
中国一直试图绕开极紫外光刻机,2018年就出现“超分辨光刻机”。但这玩意儿明显跑偏了,暂时无法用于芯片的工业化制造,反而在5g天线、光纤等领域大行其道,直接把传统的ebeam光刻机给淘汰了,顺便把荷兰的mapper公司给再度搞破产(mapper已经破产一次,)。
即便不能用于制造芯片,在“超分辨光刻机”刚刚通过验收,还没实现商业用途的时候,西方国家都赶忙着跑来恶心人——对中国禁售ebeam光刻胶,导致超分辨光刻机缺乏实验材料,中国不得不选择自己开发光刻胶。
好在,荷兰佬的技术也已经陷入瓶颈,极紫外光刻机的发展停滞了好几年。自2017年的nxe3400b之后,原定于2024年问世的新一代极紫外光刻机,现在消息全无,可能是要跳票了,需要新的工艺、新的理念才能实现飞跃,这就留给了中国继续跑步赶超的时间。
后记之七·六爷的传说(3/8)