二张工图上的东西，逐渐清晰了起来，陈元春看了一眼，这个应该是双工作台的底座部分。
双工作台，自然是两个工作台，以前的光刻机只有一个工作台，这个工作台需要先在各种传感器上接受前期扫描工作，确保位置对准之后，然后才能到光源下进行曝光，这种效率比较低下，而双工作台技术就是曝光和扫描同时进行，一个晶圆在一个工作台上进行光刻的同时，另外一个晶圆则在第二个工作台上进行扫描，然后第一个晶圆光刻完成，第二个晶圆也扫描完成后，两者就对调位置，一个继续曝光，一个继续扫描新的晶圆。
这种方式极大地节省了时间，提高了光刻机的效率，所以其对于光刻机来说，可以说是必不可少的结构之一。
而这个双工作台的底座部分，就更加重要了，因为双工作台采用的是磁悬浮方式进行移动的，磁悬浮的方式足够稳定，也能够避免摩擦过多造成磨损等问题。
当然，这也就对磁悬浮的精度有了很大的要求，磁悬浮，利用来拒去留的效应，如何实现精准的控制，也就对里面的结构有很大要求。
所以林晓现在正在画的底座结构，也就十分的重要了。
不过，林晓并没有直接画出一整个底座结构，而是分成了几个部分来画，毕竟这个底座是很大的，其中涉及到了多种传感器，可不是他一张纸就能画出来的。
就这样，第二张工图画好了，这是底座结构的框架，里面主要画了走线的位置，以及伺服电机的位置，除此之外，还有其他各种零部件的具体位置，简单来说，这是一个
第二百七十九章 计划完成时间：十月(2/8)