率,在加上x光那强大的能量,实现更加快速的生产效率,十分的轻松。
当然,其中就有一个困难的问题了,那就是这个合适的晶体是什么,此外,利用衍射效应实现对x光的控制,其中需要处理的数据十分庞大。
所以到现在虽然也有利用这种衍射效应去实现芯片制造的,但是基本上都仅限于一些特殊的图形,应用案例十分之少。
对于林晓来说,他也仅仅只是这么想一想。
虽然现在的他还有一点把握,但是要是他给外界的人说自己要搞x光刻机的话,恐怕他们华芯盟第二天就得退出个一大半。
不再多想,他重新将目光投入到眼前的数学模型中。
如今升级了的他,再次回顾起这个模型,心中忽然觉得,这个模型似乎还有些欠缺啊?
“唔……这个模型似乎还可以再优化一下。”
经过片刻的思考,他找到了可以优化的点。
“嗯,离子抛光机校准系统,还有一点可以优化。”
离子抛光机的校准系统受到本身精度的影响,当然,考虑到内部磁场的影响,离子束的轨道是会受到磁场干扰的,就像是粒子加速器也会受到磁场的各种干扰。
所以如果在校准系统中对磁场干扰误差进行更加精确的修正,或者说是利用磁场误差和离子抛光机自身精度误差的差值,同样也能实现更加精准的抛光。
想到这,林晓立马开始动手计算,而这一步,其实很容易,那就是根查法。
离子束抛光机,喷射等离子体,
第二百四十章 八月:产量提高2.6倍(3/11)